Sistema de mediciónASML
YieldStar S-200B
Datos de la máquina
- Descripción de la máquina:
- Sistema de medición
- Fabricante:
- ASML
- Modelo:
- YieldStar S-200B
- Año de fabricación:
- 2011
- Estado:
- muy bueno (usado)
- funcionalidad:
- totalmente funcional
Precio y ubicación
- Ubicación:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, DE
Detalles de la oferta
- ID del anuncio:
- A19967480
- N.º referencia:
- DV10125
- Actualizado por última vez:
- el 10.09.2025
Descripción
Modelo: S200B
Tipo: YieldStar
Año de fabricación: 2011
Datos técnicos:
Tamaño de oblea: 300 mm (12")
Fuente láser: LPPS, refrigeración por agua
Información general:
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El YSS200B es un sistema óptico de medición de overlay utilizado para la medición rápida y altamente precisa de desviaciones de overlay en obleas de 300 mm; típicamente empleado para monitorización tras grabado y control de procesos de producción como sistema autónomo.
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